打破国外技术封锁！又一光刻机巨头出现，一个零件卖6000万

一台光刻机零部件超10万个，且不乏高精尖的零部件。可以说，光刻机是人类最尖端的设备之一，全球只有寥寥几家企业掌握该设备的完整技术，如荷兰的ASML和日本的尼康、佳能。

经过这么多年的发展，我国也诞生了光刻机企业，且目前取得了一定的成绩。比如上海微电子，手持3200项专利，去年售出50+台光刻机。而今天要给大家介绍的华卓精科，是光刻机零部件供应商，与上海微电子建立了良好的合作关系。

资料显示，华卓精科创办于2012年，主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生产品的研发、生产、销售和技术服务。其中，公司是全球除ASML之外，唯一一家掌握双工件台技术的企业，一举打破国外的技术封锁。

虽然华卓精科正式成立时间仅有8年，但其历史可以追溯到19年前。当年，朱煜参与由我国主导的光刻机设备研制计划，他带领团队开始研发光刻机工件台。

简单了解下，光刻机工件台属于核心技术，无论是ASML还是尼康、佳能，都有自主研发的产品。ASML更是率先全球同行业研发出双工件台技术，遥遥领先。

在朱煜的带领下，团队在04年的时候成功研制出10nm同步精度的超精密运动平台。然后在这之后几年内，由于缺乏研究经费，进度几乎陷入停顿。直到11年前，获得资金后才又重启研发，这次直接对标ASML，研制双工件台。

大概在8年前，朱煜的团队联合清华大学的技术人员，共同出资成立了华卓精科。值得一提的是，公司虽然掌握了双工件台技术，但客户只有上海微电子一家。

客户结构的单一，使得华卓精科的双工件台业务营收波动较大。因此，虽然它以光刻机工件台起家，但主要营收来源却不是该业务，而是精密运动系统。

公司披露的2019年营业收入数据显示，其精密运动系统收入7998万元，而光刻机双工件台营收为零。可以看到，该公司的双工件台业务要想发展起来还有很长的路要走。

更重要的一点是，华卓精科的光刻机双工件台仍处于小批量定制生产阶段，还没能实现规模化生产。这也就意味着公司所掌握的双工件台技术还不够成熟，与荷兰的ASML相比恐怕还有不小的差距。

根据华卓精科方面披露的消息，其将于2021年生产可用于浸没式28nm光刻机的DWSi系列双工件台，该类双工件台的售价约为6000万元。

无独有偶，稍早前上海微电子宣布在2021年-2022年交付第一台28nm工艺的国产沉浸式光刻机。从双方公布的信息来看，上海微电子恐怕是在等华卓精科的双工件台，且还留出了一年的时间空档。

可以看到，上海微电子是光刻机整机制造商，而华卓精科则是核心零部件供应商。双方各有侧重，互相合作，共同发展。

从商业化的角度看，华卓精科的双工件台业务远没有成功。但站在我国整个半导体产业链来说，该技术却有着非常重大的意义。也因此，华卓精科身上的担子很重，它的发展是备受期待的。

笔者认为，光刻机技术门槛高，其核心零部件也一样，没什么捷径可以走。只有通过持续的技术研发，不断地积累技术和经验，才能逐步拉近与国际巨头的距离。希望华卓精科砥砺前行，潜心搞研发。#​我要上头条#